前言

       ISO（國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織）是各國(guó)標(biāo)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)（ISO成員機(jī)構(gòu)）的全球性聯(lián)合會(huì)。制定國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的工作通常通過ISO技術(shù)委員會(huì)進(jìn)行。每個(gè)對(duì)已成立技術(shù)委員會(huì)的主題感興趣的成員機(jī)構(gòu)都有權(quán)在該委員會(huì)中派代表。與ISO聯(lián)絡(luò)的政府和非政府國(guó)際組織也參與這項(xiàng)工作。ISO與國(guó)際電工委員會(huì)（IEC）在所有電工標(biāo)準(zhǔn)化事務(wù)上密切合作。

       ISO/IEC 指令第 1 部分描述了制定本文檔所用的程序以及其進(jìn)一步維護(hù)的程序。特別要注意不同類型的 ISO 文檔所需的不同批準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。本文檔是根據(jù) ISO/IEC 指令第 2 部分的編輯規(guī)則起草的（請(qǐng)參閱 www.iso.org/directives）。

       請(qǐng)注意，本文檔的某些元素可能涉及專利權(quán)。ISO 不負(fù)責(zé)識(shí)別任何或所有此類專利權(quán)。在文檔開發(fā)過程中識(shí)別的任何專利權(quán)的詳細(xì)信息將在簡(jiǎn)介中和/或 ISO 收到的專利聲明列表中列出（請(qǐng)參閱 www.iso.org/patents）。

      本文件中使用的任何商品名稱僅為方便用戶而提供的信息，并不構(gòu)成認(rèn)可。

有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的自愿性質(zhì)、與合格評(píng)定有關(guān)的 ISO 特定術(shù)語和表達(dá)的含義，以及有關(guān) ISO 在技術(shù)性貿(mào)易壁壘 (TBT) 中遵守世界貿(mào)易組織 (WTO) 原則的信息，請(qǐng)?jiān)L問 www.is       o.org/iso/foreword.html。

     本文件由 ISO/TC 209、潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境制定。

     有關(guān)本文檔的任何反饋或問題都應(yīng)直接提交給用戶所在國(guó)家的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)。這些機(jī)構(gòu)的完整列表可在 www.iso.org/members.html 上找到。

     ISO 14644-3 第二版取消并取代了第一版（ISO 14644-3:2005），并進(jìn)行了技術(shù)修訂。與上一版相比，主要變化如下：

• 條款 B.7 已簡(jiǎn)化并更正，以解決對(duì)其復(fù)雜性和已知錯(cuò)誤的擔(dān)憂；

• 有關(guān)按空氣中顆粒濃度對(duì)空氣潔凈度進(jìn)行分類的指導(dǎo)已移至 14644-1[1]

• 整個(gè)文件的文本已修訂或澄清，以方便應(yīng)用。

ISO 14644 系列所有部分的列表可在 ISO 網(wǎng)站上找到。

ISO 14644-3：2019 的修正版本包含以下內(nèi)容：

• 表 A.1、B.4.4、C.1、C.4.2 和 C.4.3 中的交叉引用已更正；

• B.2.1 a)、表 B.2 中的措辭已更改；

• 舊圖 B.2 已被刪除。

介紹

      潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境可將污染控制在適合完成污染敏感活動(dòng)的水平。受益于空氣污染控制的產(chǎn)品和工藝包括航空航天、微電子、制藥、醫(yī)療設(shè)備、醫(yī)療保健和食品等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝。

     本文件規(guī)定了測(cè)量潔凈室、潔凈區(qū)或相關(guān)受控環(huán)境（包括分離設(shè)備和受控區(qū)域）以及所有相關(guān)結(jié)構(gòu)、空氣處理系統(tǒng)、服務(wù)和公用設(shè)施性能的適當(dāng)?shù)臏y(cè)試方法。

注：本文件并未列出所有潔凈室參數(shù)測(cè)試程序。ISO 14644-1[1] 提供了按顆粒濃度和大顆粒進(jìn)行空氣潔凈度等級(jí)測(cè)試的程序和設(shè)備，ISO 14644-12[8] 提供了按納米級(jí)顆粒濃度監(jiān)測(cè)空氣潔凈度的規(guī)范。ISO/TC 209 編寫的其他文件中討論了用于表征特定產(chǎn)品或工藝的潔凈室和潔凈區(qū)中關(guān)注的其他參數(shù)的程序和設(shè)備[例如，可行材料的控制和測(cè)量程序（ISO 14698 系列）、潔凈室功能測(cè)試（ISO 14644-4[3]）和分離裝置測(cè)試（ISO 14644-7[4]）]。此外，其他標(biāo)準(zhǔn)也可考慮適用。其他清潔度屬性級(jí)別可按照 ISO 14644-8[5]（按化學(xué)品確定的空氣清潔度級(jí)別）、ISO 14644-9[6]（按顆粒濃度確定的表面清潔度級(jí)別）和 ISO 14644-10[7]（按化學(xué)品濃度確定的表面清潔度級(jí)別）來確定。