前言

ISO/IEC 指令第 1 部分描述了制定本文件所用的程序以及用于進(jìn)一步維護(hù)本文件的程序。特別需要注意的是，不同類型的 ISO 文件所需的不同批準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。本文件是根據(jù) ISO/IEC 指令第 2 部分的編輯規(guī)則起草的（請參閱 www.iso.org/directives）。

請注意，本文件的某些元素可能屬于專利權(quán)的主題。ISO 不負(fù)責(zé)識別任何或所有此類專利權(quán)。在文件開發(fā)過程中確定的任何專利權(quán)的詳細(xì)信息將在引言和/或 ISO 收到的專利聲明列表中（請參閱 www.iso.org/patents）。

本文件中使用的任何商品名稱均是為了方便用戶而提供的信息，并不構(gòu)成認(rèn)可。

有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的自愿性質(zhì)、與合格評定相關(guān)的 ISO 特定術(shù)語和表達(dá)的含義以及 ISO 在技術(shù)性貿(mào)易壁壘 (TBT) 中遵守世界貿(mào)易組織 (WTO) 原則的信息，請?jiān)L問 www.iso.org/iso/foreword.html。

本文件由 ISO/TC 209 技術(shù)委員會（潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境）與歐洲標(biāo)準(zhǔn)化委員會 (CEN) 技術(shù)委員會 CEN/TC 243（潔凈室技術(shù)）合作編制，符合 ISO 和 CEN 之間的技術(shù)合作協(xié)議（維也協(xié)議）。

本第三版取消并取代第二版（ISO 14644-8:2013），對第二版進(jìn)行了小幅修訂。變化如下：

• 在適當(dāng)?shù)那闆r下，將“類別”（分類、已分類）一詞改為“等級”或“評估”；

• 3.1.2，修訂定義；

• 更新參考書目；

• 進(jìn)行少量編輯修改。

ISO 14644 系列中所有部分的列表可在 ISO 網(wǎng)站上找到。

有關(guān)本文檔的任何反饋或問題都應(yīng)直接提交給用戶的國家標(biāo)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)。 這些機(jī)構(gòu)的完整列表可在 www.iso.org/members.html 上找到。

介紹

潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境可將空氣中的顆粒污染控制到適合完成對一系列污染物敏感的工藝活動的清潔度水平。受益于空氣污染控制的產(chǎn)品和工藝包括航空航天、微電子、制藥、醫(yī)療設(shè)備、食品、醫(yī)療保健、光學(xué)、儀器儀表、真空技術(shù)、涂料、光伏、顯示器、LED、涂層、汽車和表面分析等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝。

在這些行業(yè)中的一些行業(yè)中，產(chǎn)品或工藝可能對化學(xué)污染敏感，或可能被化學(xué)污染破壞，這些化學(xué)污染是由外部、工藝或其他產(chǎn)生的來源產(chǎn)生的化學(xué)物質(zhì)造成的。

在本文件中，化學(xué)物質(zhì)的存在表示為空氣化學(xué)污染?；瘜W(xué)污染是一個三步事件。第一步是由于外部來源（例如工藝泄漏、建筑材料、人員或材料排氣）而產(chǎn)生的。第二步是作為空氣中的化學(xué)污染物運(yùn)輸。第三步是在敏感表面上吸附，可以量化為表面化學(xué)污染。

除了實(shí)際的空氣污染外，生成材料和發(fā)生吸附的表面將對生成和吸附步驟產(chǎn)生很大影響。因此，對于這兩個步驟，不僅需要定義污染物，還需要定義所涉及的體積和表面。為了使標(biāo)準(zhǔn)普遍適用于任何類型的潔凈室或相關(guān)受控環(huán)境，已選擇空氣化學(xué)潔凈度 (ACC) 進(jìn)行水平評估。

本文件分配了 ISO 等級，用于指定潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中的 ACC 水平，其中產(chǎn)品或工藝被認(rèn)為存在空氣化學(xué)污染的風(fēng)險。

為了進(jìn)行水平評估，本文件為一系列 ACC 水平提供了指導(dǎo)，并提供了關(guān)于化學(xué)化合物、測試和分析方法以及時間加權(quán)因素的標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議，用于指定此類水平。

附件 A 至 D 包含以下信息：

• 需要考慮的參數(shù)：附件 A；
  

• 典型的污染化學(xué)品和物質(zhì)：附件 B；

• 典型的測量和分析方法：附件 C；

• 分離裝置具體要求的考慮：附件 D。

本文件是一系列有關(guān)潔凈室和污染控制的標(biāo)準(zhǔn)之一。在潔凈室和其他受控環(huán)境的設(shè)計(jì)、規(guī)范、操作和控制中，除了 ACC 之外，還需要考慮許多因素。這些特征在本文件中得到認(rèn)可，并在 ISO/TC 209 制定的國際標(biāo)準(zhǔn)的其他部分（包括 ISO 14698 系列）中進(jìn)行了詳細(xì)介紹。在某些情況下，相關(guān)監(jiān)管機(jī)構(gòu)可以實(shí)施補(bǔ)充政策或限制。在這種情況下，可能需要對本文件進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。

注意：當(dāng)使用關(guān)鍵控制點(diǎn)的 ACC 評估作為根據(jù) ISO 14644-1 按空氣中的顆粒濃度對空氣潔凈度進(jìn)行分類的附加清潔度屬性時，該空間可描述為潔凈室或潔凈區(qū)。如果單獨(dú)使用 ACC，則必須將該空間描述為受控區(qū)。